简介：摘 要： 谐振式传感器因具备体积小、分辨率高、精度高等优势极具应用前景。本文提出了一种由石墨烯纳米机械振子、Si/SiO2衬底以及磁致伸缩材料(Fe83Ga17)组成的高频、高可调谐性谐振式磁传感器。该磁传感器利用了石墨烯谐振器的高谐振频率特性，通过测量石墨烯的频移来检测外部磁场的大小。我们利用有限元分析方法，对传感器的谐振频率随外部磁场大小（1mT~1.6mT）变化的函数关系作了线性拟合，灵敏度可达105kHz/mT。同时，通过优化磁传感器的部分结构，如减小薄膜尺寸、衬底以及磁致伸缩材料的厚度，使得单层石墨烯的磁场灵敏度可达834kHz/mT，比传统的谐振式磁传感器高出2~3个数量级。结果显示，基于磁致伸缩效应的石墨烯谐振式磁传感器具有潜在的应用前景。
客服QQ：30444492琼网文【2021】1550-113号
增值电信业务经营许可证：琼B2-20210322
出版物经营许可证：新出发龙华出字第(2021)009号
广播电视节目制作经营许可证：(琼)字第00779号
版权所有 ©2002-2024 期刊网(www.qikanchina.com) 琼ICP备2021005105号
