简介：扫描光刻技术是目前实现大口径压缩光栅等位相元件制作的一种有效方案，该技术考虑到大尺寸加工的困难，采用先小尺寸加工，然后连续扫描扩大加工区域的方法，既能保证大尺寸加工和较高精度，又能降低设备制作成本和难度，具有明显的优越性。扫描光刻技术中需要发展超精密检测和超精密定位装置以保证移动光刻过程能够得到精密的控制，特别是10^-6级的相对精度的控制。图1显示了XY超精密平台的测量定位系统。

简介：物理学的研究方法有许多种，如控制变量法、等效替代法、转化法、推理法、模型法、比较法、类比法、图像法等，它们都是初中物理学习中常用的研究方法．我们来总结一下在“声现象”这一章中运用的研究方法．

简介：开展了扫描控制工艺研究，找到了扫描稳定性控制工艺的基本要素，从膜料预熔、挡板打开前的预扫描、挡板打开后的扫描几个方面进行优化，改进了扫描工艺，有效提高了镀膜蒸发的稳定性。

简介：针对国内质子加速器能量不够高,不足以开展面密度为200g·cm~（-2）的厚物体透射成像实验研究的问题,探索了国内质子加速器用于高面密度厚物体内部材料边界位置测量的新方法。该方法与美国和俄罗斯发展的高能质子整幅照相不同,采用细束质子扫描方式记录透射束斑的能量、个数、偏转角度及束斑形状等信息,进而反演检测对象内部材料的边界位置。采用Geant4软件模拟了扫描检测过程,由透射率曲线和对称性特征量曲线提取的边界测量值与真实值的偏差为百微米量级。模拟计算结果表明,该方法具有可行性。

简介：药柱传统的手动A型扫描探伤方法存在，检测过程的稳定性以及检测结果的准确性、可靠性较低，检测结果不够直观等不足之处。为了解决这些问题，对超声C-扫描成像检测技术的系统条件、技术参数、缺陷大小的系统标定等开展了研究，确定了炸药柱水浸式超声C-扫描成像检测条件，并对利用手动A型超探仪探伤有缺陷（包括分层类和疏松）的PBX-9003和TNT药柱进行了C-扫描成像检测。

简介：鉴于高能质子加速器使用受限,且γ射线与物质作用的衰减规律同质子与物质作用的衰减规律具有相似性,采用^60Coγ射线源开展了质子扫描检测方法的原理性实验验证研究。以聚乙烯和钨组成的同心圆环结构为检测对象,采用最小步长为2.5μm的电控平移台控制被测物体的移动,用直径为8mm的铅准直孔获取γ射线细束,并用闪烁体及CCD相机组成透射束斑测量系统,获取透射图像。实验验证及蒙特卡罗模拟得到的边界测量结果与真值之间的偏差均小于1.2mm,初步验证了扫描检测方法的可行性和有效性。

简介：基于斯特林制冷式4×288元光伏型碲镉汞二维探测器,根据红外扫描成像系统原理,设计了一个扫描型长波红外连续变焦光学系统。根据系统指标要求对光学指标进行分解计算及光学优化设计得到系统的光学参数和外形结构图,并对扫描光学系统的冷反射进行分析优化。该光学系统采用三次成像的结构,由变焦望远镜组、扫描摆镜、中继镜组、成像镜组4部分组成,包含9片透镜和2片反射镜。为了降低校正色差成本,系统使用了硫系玻璃镜片。光学仿真结果表明：系统在耐奎斯特频率处的全视场光学传递函数大于0.35,全视场畸变小于2%。最后,对系统进行了成像实验验证,结果表明：该系统可以实现30.8-154mm范围内连续变焦,变焦过程中目标景物清晰,细节分辨率高,无冷反射现象出现,该系统具有分辨率高、热灵敏度高、像质清晰等特点。

简介：扫描隧道显微镜的发展史梁作舟，白也武（石油管道学院河北廊坊）观察、测量和分析尺度小于可见光波长的物体是当今科学技术研究中的一个热门，生物学家研究单个细胞分子或ＤＮＡ，材料科学家确定物质的原子结构、微电子学工程技术人员绘制仅相当于几十个原子层厚度的电路...

简介：在扫描成像系统为线性不变系统的条件和光电成像系统动像光学传递函数的数学物理模型的基础上,给出了理想的动像光学传递函数的积分公式,分析了扫描成像系统的匀速动像传递特性。

简介：讨论了近代物理实验中用扫描电子显微镜（SEM）进行微米级测量长度的不确定度评定方法。