简介：过去多年以来，在减少氟化物的排放方面，半导体业行业一直处于领先地位。在气相沉积反应器清洗上，人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法，但是，由于这些原料供应短缺，或者需要用高压钢瓶运输，或者有造成显著的温室效应的可能，所以这些方法都不是很理想。
简介：
简介：从水成岩(即沉积型磷矿岩——译者注)中提取生物可利用和运送的磷酸盐及以下已被广泛运用的酸萃取过程。在提出的几种方法中，约有两种不同方法：一是基于用强酸作为萃取剂；二是基于用络合剂(如氨三乙酸NTA和乙二胺四乙酸EDTA)。由于萃取剂缺乏选择性就意味着难以做到只选取想要的部分，并且操作对实验条件有很强依赖性。因而，其结果不能比较并且也难以被确认。
氟气—清洗化学气相沉积
129：193226s在层状沉积物中，有关铁类和钙类磷酸盐的分布
用氟化氩（ArE）激光的脉冲光束在不同衬垫温度下沉积时，对磷酸钙膜层生长的影响
129：247959d海生沉积物成岩过程中磷和碳酸钙的共沉淀模拟试验
130：85745z 从沉积山中萃取磷酸盐的三种方法的特征、有效性的比较
129-208529cl在铝的阳极氧化膜上电沉积金属离子时，二级离子的质谱研究
129：193228u湖泊沉积物中，聚磷酸盐或肌醇六磷酸盐的存在状况和磷酸盐的释出情况
