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  • 简介:摘要:晶圆测试是半导体封测的生产的重要环节。晶圆测试中,探针与其对应测试垫的位置对准非常关键。但该技术在准确性和效率方面仍有不足。尽管探针痕迹自动检测技术逐渐成熟,但利用探针痕迹对针位进行修正的主流方法仍为手动或者半自动,导致自动生产过程中断。随着图像处理水平的提高,从针痕自动检测时采集的图片中,可以快速准确的提取针痕和测试垫的几何信息,进而利用刚体运动模型和最小二乘拟合计算出最优修正参数。应用该方法于探针测试控制系统,开发出新型探针与测试垫对准修正系统。该系统部署在服务器端,通过网络与探针机通信,使图像采集、信息处理、修正控制全部自动化、标准化,提高了准确性和生产效率。 关键词:探针对准;探针痕迹处理;刚体运动;最小二乘 一、简介 晶圆测试工序是芯片封测流程的重要步骤,主要是对晶圆上的裸晶颗粒进行电性测试,筛选出良品送入后续封装环节。进行电性测试,需要通过大量探针连接测试资源和待测裸晶颗粒,每颗探针都需要准确可靠的接触裸晶颗粒上的对应金属测试垫。不良接触严重影响测试效果,甚至,探针接触到测试垫有效区域外面,产生结构缺陷,如裂纹,影响芯片可靠性。尤其近年来芯片集成度不断提高,边长40微米的方形测试垫越来越多的出现在产品中,对探针和测试垫的对准要求越来越高。而且,基于成本的考虑,测试并行度也在提升,同时测试上百个产品的测试方案越来越多,原有的对准方法在原理、速度方面不再适用。 通常,每个生产批次开始前,探针机要进行探针和测试垫的对准,之后进行探针与测试垫的试接触。会在测试垫金属表面留下探针痕迹,它反应了接触状况,影响测试效果和质量。因此,试接触后,要进行探针痕迹检查。对准是通过相机获取针尖和测试垫的位置信息计算的,针尖状态、探针滑动情况、对准系统误差等因素会影响对准效果。另外,提取针尖信息需要频繁对焦,速度较慢,限制了参与对准计算的针尖测试垫对的数量。因此,利用探针痕迹和测试垫的几何位置进行对准更加直接。 探针设备不断进步,可以在自动检测探针痕迹的同时,通过网络将相应图片传送到服务器。服务器上运行的离线对准系统对图片进行分析,识别探针痕迹和测试垫,提取其几何信息【1】,利用刚体运动模型和最小二乘拟合方法在探针机承载台平面内进行对准计算,产生沿承载台X、Y和θ轴的修正参数【2】。再远程控制探针机进行位置修正,改善接触情况。对于高并行度测试,由于探针众多,需要处理大量针痕图片。在服务器端,利用人工智能技术和并行计算,可以大幅提高图像处理速度和准确性,减少延迟。且通过并行处理,使探针设备的运行不受影响,同时进行生产测试。该独立运行于服务器的对准系统可以直接接入探针机测试机系统,也可以通过其它控制系统接入测试系统。 二、传统探针对准方法及系统 晶圆测试阶段,晶片未切割封装,需要通过探针连接裸晶颗粒上的金属测试垫和测试资源,进行电性测试。测试开始前,探针台对探针和金属测试垫进行位置对准,修正X、Y、Z和θ轴的运动参数,减小平移和旋转误差,确保良好的接触效果。测试过程中,探针机承载台将晶圆运至探针卡下并升起,使测试垫与探针针尖接触。在接触处会留下探针痕迹。 如图1所示,传统对准方法包括三个步骤:自动探针对准,自动晶圆对准和手动修正。探针对准时,探针机相机依次移动到待测针尖处,测量针尖位置。由于该测量需要在Z轴方向上通过多次聚焦搜寻针尖准确位置,较耗时,每根探针平均需要2秒。因此,尽管探针卡针数不断增加,但是由于时间成本,通常只选择少数探针进行对准。当然抽样量小会产生较大的误差,尤其是某些针尖磨损或位置偏移时。晶圆对准时,探针台通过相机获取探针对准中所选探针的对应测试垫的位置信息。探针机利用这些针尖和测试垫的位置信息,进行拟合计算并初步设定探针机载物台运动参数,并按照该参数进行试接触。 试接触时,常出现误对准情况,即在X轴、Y轴或θ轴上存在较大误差。严重时导致针痕在测试垫上的位置显著偏移,超过测试垫边缘,产生质量风险,此类芯片视为废品(MIL-STD-883)。该问题更多是由θ轴的转动误差造成,而非X轴或Y轴的移动误差。这是因为转动误差依三角关系沿晶片直径转化为X和Y向误差并放大。常见现象是沿一方向各裸晶颗粒上的针痕偏移程度逐渐严重。即使没有显著的误差,针痕位置也会在几个微米的范围内波动。再考虑针痕尺寸通常大于10微米,对于如今常见的40微米的方形测试垫,挑战严峻。因此,如何使针痕尽量靠近测试垫中心而远离其边缘非常重要。这对于安装数千甚至数万根探针的针卡,极具挑战,需要巧妙的算法和强悍的算力。但目前仍然需要操作人员手动修正。 手动修正是为了削减探针台自动对准误差,尽量使所有针痕接近理想位置。如图1虚线框内所示,包括试接触、目检和调整三个步骤。首先通过试接触产生针痕,以反映当前对准情况。然后观察针痕并依经验判断误差情况。接着对X、Y和θ轴误差进行手动修正。再循环进行试接触、目检、修正,直到针痕位置比较理想,结束手动修正,继续生产。该步骤需要操作人员手动操作、人为判断,非常耗时。对于针数较多的产品,人为判断常不理想,尤其θ轴误差常需调整,占时超过5%。考虑大量针痕的情况并做出判断,直觉和经验不够准确,需要自动的、定量的计算解决该问题。 三、新型探针对准方法及系统 传统探针和测试垫位置对准存在两大问题,一是探针对准步骤虽然是自动化的,但由于在Z轴上频繁对焦而耗时,只能抽样少量探针,而Z向误差较大。二是手动修正步骤耗时且不够准确,对X、Y和θ上的误差的修正不理想。对于问题一,已有电学接触方法来快速准确的对Z轴参数进行修正。因此对问题二,需找到新方法来解决X、Y和θ轴参数修正问题。随着技术发展,探针机自动目检功能逐渐成熟,大量包括针痕和测试垫的清晰图片可以在自动目检运行的同时从探针机相机发送到服务器,延时很短,不会对生产过程和效率产生影响。这些图片包含着进行X、Y和θ轴对准修正的完整信息。而且,生产中针尖常常变形或者被污染,针尖图像噪声大于针痕图像。利用这些几何信息可以分析出如何调整,但需要大量运算。因此,在新对准系统中, 利用服务器进行该计算,可以减少探针机系统负载。这样,在自动针痕检查时,探针机将图片和相关信息发送到服务器,并通知服务器开始运行新型对准修正系统。 图1 传统与新型探针对准流程

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  • 简介:摘要:由于锌离子在人体细胞中广泛分布,在人体代谢过程中起着重要作用,特异性检测和监测锌离子浓度具有重要意义。荧光探针因其设计简单、操作方便、灵敏度高、可用于细胞成像等优点,在锌离子检测中得到了广泛的应用。荧光锌探针一般根据光诱导电子转移、分子内电荷转移、荧光共振能量转移、聚集诱导发射和螯合增强荧光等机制构建。本文对近年来报道的荧光锌探针进行了简要的综述。

  • 标签: 锌离子 识别机理 荧光探针
  • 简介:摘要黑素瘤是一种侵袭性很强的皮肤恶性肿瘤,具有快速生长和早期转移的特点,目前的治疗仍以手术切除为主。黑素瘤在早期诊断、彻底切除方面仍然存在一些挑战,影响患者的预后。目前荧光探针在黑素瘤的诊断、手术切除、前哨淋巴结定位及切除等方面均取得长足的进步,具有化学稳定性好、不良反应少、特异性高、准确率高、可视化等优点,可为黑素瘤的诊治提供新的思路。

  • 标签: 痣和黑素瘤 分子探针 诊断 治疗 荧光探针
  • 简介:摘 要:对于打卡考勤,特别是多人排队打卡就显得非常不方便,浪费了时间,降低了办事效率。本项目采用将人脸识别与WIFI探针的方式来进行考勤的研究,应用于企业和高校等,可以大大提高考勤的效率,并且可以减少代签、漏签等情况出现,减少考勤管理者的工作量,节省大量的人力物力,从而提高考勤的效率,降低管理成本。

  • 标签: WIFI探针 人脸识别 考勤
  • 简介:摘要观察性研究中往往存在未知或未测量的混杂因素,是流行病学因果关联研究中的重大挑战。本文介绍一种可以应用在观察性研究中的一种对未知/未测量混杂因素进行识别和效应评估的工具——“探针变量”。其主要可以分为暴露探针变量、结局探针变量以及中介探针3种形式,前2种不仅可以对未知/未测量混杂因素进行识别,也可以对其效应量进行估计,从而揭示真实的暴露与结局之间的关联。而中介探针则是针对“中介因子”进行控制,从而识别暴露和结局之间是否存在未测量混杂因素。该理论实践过程中最大的困难在于“探针变量”的选择和确定,不恰当的“探针变量”可能引入新的混杂,导致未测量混杂因素识别不准确。“探针变量”可以推荐作为观察性研究报告中的一项敏感性分析内容,有助于读者真实理解暴露与结局之间的关联,增加观察性流行病学研究中的证据力度。

  • 标签: 观察性研究 探针变量 混杂因素
  • 简介:摘要:不同类型的测试机台,探针卡与探针台装配方式有所区别。在生产过程中发现测试头与探针台的固定方式对探针痕迹的稳定性有着显著的影响。为了提高生产过程中探针痕迹的稳定性,本文通过测试头与探针台固定方式对探针痕迹的影响进行分析,对测试头与探针台的固定方式进行改进,提高生产过程中探针痕迹的稳定性,最终实现减少物料报废以及提高产品质量的目的。

  • 标签: 探针痕迹 固定方式 探针卡 探针台 测试头
  • 简介:摘要目的探讨纳米荧光探针在大鼠肝癌血供分子影像中的应用,为肝癌的双血供治疗奠定基础。方法通过二乙基亚硝胺化学诱导法建立12只大鼠肝硬化肝癌模型,15周时行磁共振扫描、切取肝组织行病理切片;通过肝动脉和门静脉应用不同的纳米荧光探针,观测肝癌组织血供的分子影像,组间比较采用两样本均数的t检验。结果12只大鼠13~14周时死亡4只,15周时存活率为66.67%,成瘤率100%。病理切片符合肝细胞性肝癌征象;分子荧光成像在动脉时癌结节5,6-二氯-3,4-二氢-2(1H)-亚胺喹唑啉-3-乙酸乙酯氢溴酸盐(DiI)荧光强度[(2.99±0.41)×107]高于周围肝组织[(1.06±0.22)×107,t=-9.410,P<0.05];而在门静脉时癌结节Alexa fluor 647荧光强度[(1.30±0.29)×107]低于周围肝组织[(2.76±0.38)×107,t=7.480,P<0.05],两者差异均有统计学意义。肝癌玻片扫描提示肝癌结节动脉血供高于周围肝组织,而肝癌结节实质及周围均存在门静脉供血,以周围为著。结论二乙基亚硝胺诱导法可建立成熟稳定的肝硬化肝癌模型,纳米荧光探针在微观水平观测到肝癌组织为动静脉复合血供。

  • 标签: 原发性肝癌 分子影像
  • 简介:摘要肿瘤微环境(tumor microenvironment,TME)与肿瘤的发生、转移及其所在组织的结构、功能密切相关。在体研究肿瘤细胞与TME之间的相互作用机制,是基础和临床研究癌症发生发展、研发肿瘤精准诊断新技术以及开发有效抑制肿瘤新策略的迫切需求。分子影像学(molecular imaging)着眼于生物过程的分子水平变化,对早期TME中分子改变及环境变化的研究具有重要意义。现已研制出多种针对TME响应的19F-MR纳米分子成像探针,这类探针可在复杂TME中的某些特定刺激下,使含氟小分子核团暴露,19F-MR信号明显增强。利用探针这一环境响应特性,结合19F-MR成像,可在分子水平早期可视化TME中的恶性生物学行为,为实现肿瘤早期诊断及精准治疗提供有利支持。该综述从基础及临床研究需求出发,对已研发的TME响应型纳米分子成像探针展开评述,以期为新型纳米探针的设计、制备及临床转化提供研究思路及理论依据。

  • 标签: 肿瘤微环境 分子影像学 纳米分子成像探针 19氟 磁共振成像 智能环境响应
  • 简介:摘要 目的:探讨弹性新型肛瘘探针在马蹄形肛瘘手术中的应用效果。方法:采用随机数字表法将60例于2017年3月到2021年3月在某院行马蹄形肛瘘手术的患者进行分为实验组、对照组1、对照组2,各20例,实验组术中使用订制的弹性新型肛瘘探针,对照组1术中使用长15cm的普通传统实心圆头探针,对照组2术中使用10%亚甲蓝溶液,对3组患者的探查准确率情况、手术时间情况、创面愈合时间情况、术后半年复发率情况、临床治疗满意度情况进行观察。结果:实验组的探查准确率与对照组1、对照组2比较可知,差异不具有统计学意义(P>0.05);实验组的手术时间与创面愈合时间明显短于对照组1与对照组2,术后半年复发率明显低于对照组1与对照组2,临床治疗满意度明显高于对照组1与对照组2,三组患者比较差异具有统计学意义(P

  • 标签: 弹性新型肛瘘探针 马蹄形肛瘘 探查准确率
  • 简介:摘要:以水杨醛和2-氨基吡啶为合成原料,合成了水杨醛缩2-氨基吡啶席夫碱,考察了其对17种金属离子的识别能力。结果表明,探针L对锌离子具有较高的选择性,受常见离子的干扰较小,适于锌离子的检测。

  • 标签: 荧光探针 锌离子 席夫碱
  • 简介:摘要开发具有高特异性、高灵敏度、低毒性的影像探针是推动肿瘤分子影像技术发展的核心。天然表达纯化的蛋白纳米笼作为一种能够在生物体内外自组装形成特定笼状结构的纳米粒子,具有粒度高度分散均一、优良生物相容性和生物可降解性以及工程化改造方法简单多样等优势,已被广泛应用于开发各类肿瘤分子影像探针。该文从天然蛋白纳米笼的种类和特性、工程化改造方法以及其在肿瘤分子影像的应用几个方面来综述其研究进展。

  • 标签: 纳米粒 生物工程学 分子影像 发展趋势
  • 简介:摘要目的制备新型68Ga标记三七素类前列腺特异膜抗原(PSMA)靶向探针,并进行理化性质和体内外评估。方法采用固相合成法制备配体P151,测定其亲和性。将配体加入到68GaCl3与醋酸钠混合的溶液中,95 ℃反应10 min,使用放射性高效液相色谱(HPLC)测定其标记率及体外稳定性。评估68Ga-P151的脂水分配系数(log P),并进行细胞摄取实验。对正常昆明(KM)小鼠进行体内生物分布测定;对前列腺癌22Rv1荷瘤裸鼠注射68Ga-P151后进行microPET显像,并与68Ga-PSMA 617进行对比。2组间比较采用两独立样本t检验。结果成功合成目标配体P151,其抑制常数Ki为0.58 nmol/L,标记率和放化纯均≥95%;37 ℃放置2 h后,68Ga-P151在生理盐水和人血清白蛋白(HSA)溶液中的放化纯仍≥95%,表明其体外稳定性好;68Ga-P151的脂水分配系数(log P)为-2.65±0.17,表明其亲水性较好。注射68Ga-P151后60 min,前列腺癌LNCaP细胞的总摄取值为(0.83±0.04)百分注射活度(%IA)/105个细胞,并可被PSMA抑制剂(ZJ-43)所抑制。正常小鼠体内生物分布显示68Ga-P151主要经肾脏排泄出体外,在其他组织中摄取较低;荷瘤裸鼠microPET显像显示,68Ga-P151与68Ga-PSMA 617的最大标准摄取值(SUVmax:0.79±0.23和0.54±0.05;t=2.12)、肿瘤/肾脏比值(2.04±0.65和1.88±0.33;t=0.44)、肿瘤/肌肉比值(12.83±5.18和6.95±1.63;t=2.17)差异均无统计学意义(均P>0.05)。结论68Ga-P151制备简单、标记率高、生物分布理想,可对PSMA阳性肿瘤显像,其显像效果与68Ga-PSMA 617相当,有望应用于前列腺癌的诊断。

  • 标签: 氨基酸类,二氨基 同位素标记 镓放射性同位素 前列腺特异膜抗原 正电子发射断层显像术 肿瘤细胞,培养的 小鼠,裸
  • 简介:摘要胃肠道恶性肿瘤的发病率和病死率高,早期诊断对患者预后至关重要。基于靶向分子探针的分子影像技术为胃肠道肿瘤的早期诊断提供了新的思路和方法,使得早期诊断变得简单、可行。现简要综述胃肠道肿瘤早期诊断标志物,以及相关靶向分子探针在胃肠道肿瘤早期诊断中的研究进展。

  • 标签: 分子探针 胃肿瘤 大肠癌 早期诊断
  • 简介:摘要靶向分子探针技术通过在活体水平实现靶标蛋白分子分型的定性、定量检测,可将癌症的影像学诊断深入到细胞、组织特异性表达的分子水平,有助于癌症的早期诊断、治疗方案的制定及疗效评价,可有效提高癌症治疗效果。近年来,靶向分子探针在癌症诊断及预后评估中应用广泛。其中,放射性核素类分子探针和光学类分子探针是研究的热点。本文主要介绍靶向分子探针用于表皮生长因子受体-酪氨酸激酶抑制剂(EGFR-TKI)治疗肺癌预后评估等方面的研究与进展。

  • 标签: 肺肿瘤 分子探针 受体 表皮生长因子 蛋白酪氨酸激酶类
  • 简介:摘要目的探讨黄连素(BBR)的聚集诱导发光(AIE)性质,细胞器靶向性及双光子成像效果,以及光动力治疗效果。方法采用HeLa细胞作为模型细胞,探讨其生物相容性,以商业线粒体染料为比较对象,探讨其亚细胞水平的靶向区域和靶向能力,并将斑马鱼作为模式动物,探讨BBR对其组织渗透性和双光子成像性能,最终应用白光光源辐照,探讨其对肿瘤细胞的潜在的光动力治疗效果。结果BBR具有良好的生物相容性,其对线粒体的靶向性能与商用线粒体染料具有94%的共染率,且其对斑马鱼胚胎具有良好的渗透性能,在840 nm的双光子激发下能够良好的激发其进行整体斑马鱼的成像;采用低能量白光辐照下,其光动力治疗杀伤效果显示,在较低的浓度下,肿瘤细胞可被大比例杀伤(杀伤率>90%)。结论BBR具有良好的聚集诱导发光性能,可以在聚集状态下发光更加明亮,且其是一种良好的线粒体染料,其具有良好的双光子吸收、发射性能和光动力治疗效果。

  • 标签: 光动力治疗 黄连素 线粒体 双光子成像
  • 简介:        摘 要:认知目标,能力目标 ,情感目标在语文课堂教学中的体现应从课题、思考题入手,激发感情;加强语言文字的训练,培养学生的思想道德素质;借助多媒体教学手段,发展学生个性品质和心理素质;精心设计教学过程,开发学生的智能素质等。

  • 标签:         认知目标 能力目标 情感目标
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  • 简介:摘要:现代化教学形势下,教师应当认识到学科内容与综合实践活动教学的有效融合,通过具体科学的目标引导,开展高效的教学活动。对于综合实践活动教学来说,既涉及了丰富的理论知识,也存在较多的实践性内容,教师更应当加强对目标与教学的重视。本文在研究过程中首先分析了综合实践活动教学目标设计的重要性,然后对教学目标设计展开相应的思考探究。

  • 标签: 小学 综合实践 目标设计 思考