简介：以Sr（OOCCH3）2·H2O,Ti（OC4H9）4为原料,用溶胶-凝胶工艺成功地进行了STO薄膜的制备,溶胶薄膜经过575℃-725℃/60min退火形成立方钙钛矿结构.用XRD、SEM等进行了结构和形貌表征,证明了该薄膜是纳米晶体结构,制定了SrTiO3薄膜的最佳退火工艺.STO薄膜的介电特性分析：在100kHz下,室温时,STO薄膜的介电常数为475而介电损耗为0.050.
SrTiO3薄膜的制备及其性能表征
