简介：传统的角度调谐薄膜滤波器具有较低的间隔有效折射率的严重的角度灵敏度，它是难以制造的角度控制系统。在本文中，我们提出并制备了一种新型100GHzangletuned滤光片堆栈的低角度的敏感性，采用高折射率材料TiO2为间隔，其入射角可扩大到25°。与传统的ta2o5-sio2薄膜滤波器组相比，新型的堆叠层数少。使用偏振分束器和半波片，角度的偏振灵敏度调谐滤波器可以抑制。仿真结果和实验结果表明，与低角度敏感薄膜滤波器有一个有效的调谐范围为33nm，可以覆盖整个C波段，其角度控制系统易于制作。
具有低角度灵敏度的可调谐薄膜滤波器
