简介：全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.
全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
