简介:全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数(不均匀性NU、通风效率Ea、流线平行度)影响着芯片的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素:送风方式、洁净度不同的速度介面、洁净室内设备及操作人员、洁净室的地板和盲板、灯具、缝隙等,为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净室的气流组织优化提供帮助.
简介:由中国制冷空调工业协会、中国国际贸易促进委员会北京市分会、中国制冷学会、上海市制冷学会和上海市冷冻空调行业协会共同主办,北京国际展览中心承办的"第二十四届国际制冷、空调、供暖、通风及食品冷冻加工展览会"(简称"中国制冷展")于2013年4月8日至10日在上海新国际博览中心隆重举办。
全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
服务民生 致力生态文明建设——第二十四届“中国制冷展”在上海成功举办