简介：由中科院安徽光机所承担的“863”计划新材料领域项目中的课题——中远红外非线性光学晶体硒镓银的研制日前取得重要进展。科研人员不仅成功地加工出长10毫米至20毫米的红外倍频元件，而且实现了连续CO2激光倍额。参加鉴定的专家们认为，该晶体的主要拄术指标已居国内领先水平。
简介：光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。
安光所研制硒镓银晶体实现C02激光倍频
基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法
