简介：采用长短波通膜系组合结构，对膜系光学性能进行了优化设计以及仿真分析。采用电子束蒸发，离子束辅助沉积工艺在Si基底两面分别沉积长短通膜。样品的透过率采用红外光谱仪测试，在3．7～4．2μm波段范围内平均透过率在80％以上，在3～3．6μm和4．3～5μm波段范围内截止，并将理论设计与实验结果进行了对比分析。样品通过了GJB2485—95规定的环境适应性测试。产品满足设计要求，具有工程化应用价值。

简介：采用新型Epsilon探测器与热不敏红外镜头设计了小型化全自动中波红外光学系统。整体采用开放式框架结构形式，实现体积重量的小型化设计。红外光学系统采用热不敏设计，利用合理的焦距分配与材料搭配，充分消除系统热差，实现了无热化设计。系统采用上电后全自动工作模式，能够自动进行非均匀校正、积分时间调整、灵敏度调整与增益调整，从而能够实现无人操控式工作。光学系统的MTF值在30lp／mm处均在0．4以上，完全能够满足探测器分辨要求，设计像质优良，结构紧凑，具有良好的适用性。

简介：光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。