简介：美国加州大学欧文分校的科学家宣布在使用纳米科技方面取得突破。这项突破使电气信号以高达10GHz的速度传播，而不受现行瓶颈的限制。参与研究的工程和计算机科学助理教授PeterBurke表示，今后世界上的高速电子器件、计算机、无线网络或者电话系统中都可以使用纳米管器件，人们将从这个技术获益。
简介：国家863计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”，9月28日在北京通过了科技部与北京市组织的项目验收。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得了重大突破，在该领域自主创新和产业化上又迈出了可喜的一步。
简介：研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光。文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1nm以下,并获得表面粗糙度小于0.2nm的平面。
新纳米技术使电气信号传输突破现有瓶颈
“一百纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”项目验收
智能型纳米级超精密抛光机的研究
