简介：针对一种新型交叉梁硅微加速度开关的设计技术进行了研究,首先推导了结构的静态刚度,确定了一种敏感芯片结构尺寸,在此基础上利用有限元方法仿真计算不同方向加速度作用下的结构变形情况.从结构特点和加工方法出发,分析了可能影响精度的几种加工误差,并给出了开关动作精度要求±5％时,梁厚的误差要求.其分析计算结果可指导该种类型加速度开关的设计和加工.
简介：中国惯性技术学会技术咨询部和学术交流部于2004年9月16日至18日在山东省泰安市举办了“2004年中国惯性技术学会科技工作者研讨会”。出席会议的有丁衡高理事长、赵凯嘉秘书长、学会各有关机构领导及17个单位的专家学者共25人，会议投稿20余篇，会上发表19篇。会议以2020年惯
一种交叉梁硅微加速度开关的设计
“2004年中国惯性技术学会科技工作者研讨会”在泰安市召开
