简介:摘要:现阶段,多晶硅的生产主要采用的是改良西门子法,还原炉是它的重要设备。本文针对现有技术中存在的不足,简述一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统,用以解决多晶硅还原炉硅芯击穿打火,电压高的问题,本文将对它的系统研制的几方面及其实际应用作出简要的分析,这有助于我国对目前还并不完善的多晶硅还原炉电气系统更加重视。
一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统