学科分类
/ 1
1 个结果
  • 简介:摘要:现阶段,多晶硅的生产主要采用的是改良西门子法,还原是它的重要设备。本文针对现有技术中存在的不足,简述一种多晶硅还原高压及调功接地检测系统,用以解决多晶硅还原硅芯击穿打火,电压高的问题,本文将对它的系统研制的几方面及其实际应用作出简要的分析,这有助于我国对目前还并不完善的多晶硅还原电气系统更加重视。

  • 标签: 多晶硅还原炉 高压及调功接地检测系统 研制