简介：过去多年以来，在减少氟化物的排放方面，半导体业行业一直处于领先地位。在气相沉积反应器清洗上，人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法，但是，由于这些原料供应短缺，或者需要用高压钢瓶运输，或者有造成显著的温室效应的可能，所以这些方法都不是很理想。
简介：
简介：介绍了德国西门子公司的S7-300控制系统在离子膜法烧碱树脂塔清洗过程中的应用。阐述了系统的工艺流程、硬件配置、软件配置和控制系统完成的主要功能。
氟气—清洗化学气相沉积
129：193763q可移动牙科器械用的清洗剂
129：2491110u用于精密印刷模压的光学玻璃的组分
仪表与自动化：离子膜法烧碱中树脂塔清洗控制系统的应用
