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Influences of laser energy density and annealing on structure properties of AIN films prepared by pulsed laser deposition

作者： Lu Lei;LIQing-shan;LiLi;ZHANGLi-chun;WANGCai-feng;QlHong-xia;ZHENGMeng-meng
学科：电子电信 > 物理电子学
创建时间：2007-04-14
出处：《光电子快报：英文版》 2007年第4期

简介：有h<100>的铝氮化物(AlN)电影水晶的取向在希腊语的第二十三个字母(100)上被制作在由搏动的激光免职的房间温度的底层。激光精力密度的效果并且在这些电影的质量上退火被X光衍射学习，Fourier变换红外线的光谱学和扫描电子显微镜学。当有表面上的混杂粒子的增加的数字时，AlN电影的水晶的质量被增加激光精力密度更加改进。在600掳C的退火的处理在这部电影生产一个再结晶过程，由原来的crystallinity，新水晶的取向的外观，和雏晶的增加的改进描绘了。表面在退火期间由于谷物尺寸的增加变得更不平。CLC数字O484.1在资助下面由山东省的自然科学基础支持了没有Y2002A04
标签：激光薄膜沉积作用能量密度

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