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低气压直流辉光等离子体实验装置

简介：介绍了低气压下直流辉光放电等离子体的实验装置，该装置具有结构合理、调节方便、测量参数多等特点，可在其上开展等离子体参数测量、等离子体激发机理研究等多项教学实验。
标签：直流辉光等离子体电子温度与浓度帕邢定律

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