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  • 简介:摘要直拉(CZ)单晶生长炉是目前世界上最主要的单晶硅生产设备,制约单晶炉生产效率提升的关键因素之一是投料量。现装料方式通过强化训练人工技能使每次坩埚投料量尽量增大,但是随之而来的问题是当投料量增大时硅料势必在坩埚内更加紧密的排列,形成搭桥、塌料导致坩埚破裂、硅料掉出石英坩埚的几率随之上升,24寸热场一次投料量只能达到170KG。随着二次加料技术应用单炉投料量达到了290KG,真正达到了降本增效的目的。

  • 标签: 单晶硅 投料量 降本增效