简介:摘 要: 介绍了半导体集成电路中专用模具抽真空的应用场合,分析真空系统的机械结构以及原理,并进一步说明,对特殊要求的精密的芯片的封装要求提供一种可行性方案。
半导体封装设备模具真空系统的原理以及工艺技术应用