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  • 简介:摘要:集成电路是基础性、先导性、战略性产业,其技术水平和产业规模已成为衡量一个国家综合实力的重要标志[1]。完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、集成电路芯片制造(前工序)、芯片封装(后工序)、封装后测试五大部分。本文叙述了集成电路制造行业发展现状及趋势,在介绍了集成电路行业特点及主流生产工艺基础上,分析了行业产污特征,提出了污染防治处理技术对策。

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