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等离子清洗技术（一）

作者：熊楚才
学科：电子电信 > 物理电子学
创建时间：2003-05-04
出处：《洗净技术》 2003年第09M期

简介：文章对等离子清洗技术做了全面介绍，不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置，而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项，指出等离子清洗技术在淘汰ODS清洗剂过程中能够发挥重要作用。
标签：等离子技术原理干法物理清洗技术物体表面

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等离子清洗技术（二）

作者：熊楚才
学科：电子电信 > 物理电子学
创建时间：2003-05-26
出处：《洗净技术》 2003年第10M期

简介：文章对等离子清洗技术做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项,指出等离子清洗技术在淘汰ODS清洗剂过程中能够发挥重要作用
标签：等离子清洗技术电子线路芯片封装半导体塑料制品

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