简介：摘要：白光干涉测量常用于高精度光学元件或其他精密元件的测量，近年来随着该领域研究的不断深入，尽管从技术和应用水平上白光干涉测量方法都达到了一定水平，但移动精度不够的问题依然极大限制了白光干涉测量精度的提升。而基于全视场的高精度外差白光干涉测量方法，能够有效解决线性位移精度不准确的问题。在对高精度白光干涉测量方法进行简要概述后，阐述了全视场外差高精度白光干涉测量方法，为高精度白光干涉测量方法进一步研究发展提供借鉴。
简介：摘要：传统三坐标测量方式存在效率低、检验操作步骤复杂、测量误差较大等缺点。对此，为进一步提高工作效率，提高数字化水平，减少人为误差，缩短工作周期，在简要概述MBD模型的基础上，提出了基于MBD模型的三坐标测量检验方式，并以此为核心创建了更为准确的测量与检验系统。该系统能够按照预先设置的技术要求自动提取结构树，然后自动测量相关指数，计算得出误差参数，通过自动检测明确误差是否在合格范围内。
高精度白光干涉测量方法
三坐标测量检验技术研究
