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  • 简介:摘要文章通过镀膜试验验证,优化设计的结构,很好的解决了工件表面污点的产生,降低了工件的废品率和生产成本,从结构原理上得到彻底的解决,证明新结构设计的正确性。

  • 标签: 真空镀膜 真空抽气系统 真空系统设计 真空室