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  • 简介:研究了离子束辅助沉积(IBAD)制备氮化钛(TiN)重要参数氮钛到达比(N/Ti)对层性能的影响,并且采用俄歇谱分析(AES)、光电子谱分析(XPS)、X射线衍射分析(XRD)对层进行了相组成与成分分析,摸索了N/Ti对层的影响规律.

  • 标签: 离子束辅助沉积(IBAD) 氮化钛(TiN)