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  • 简介:摘要:电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)检测超纯水中43项痕量金属杂质。将传统需三次实验简化成一次,保证检验准确性及精密度的同时,达到降本增效的目的。实验结果证明:实验校正曲线线性相关系数、检验回收率、检验相对标准偏差均符合要求。此优化方法可行,值得推荐。

  • 标签: ICP-MS检测 半导体 检测方法优化 降本增效