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高Q平面环形微腔的制备以及测试

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摘要采用MEMS工艺制备平面微盘腔，再通过二氧化碳激光熔融其表面形成为环状结构，通过三维形貌微系统分析仪、原子力显微镜分别测试了其外部尺寸和表面粗糙度，实验结果表明，锥形光纤近场耦合测得微腔品质因素为4．8×10^5，耦合效率在95％以上，因此激光回流微的方式在得到了新的结构的同时保证了光腔的性能。

DOI kd20wpnk46/989614

作者闫树斌;贾鹏飞;李鹏;张宇光;王丽;邹江

机构地区不详

出处《纳米科技》 2011年3期

关键词光学微腔品质因素激光处理粗糙度

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2011年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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纳米科技

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