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多晶硅生产工艺的现状与发展

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摘要摘要：本文综述了多晶硅生产工艺的现状与发展趋势。首先介绍了传统多晶硅生产工艺，包括硅材料原料选取、熔炼、凝固、拉晶等主要环节。随后重点分析了现代多晶硅生产工艺的发展，如多晶硅气相法、等离子体提纯法等。此外，论文还探讨了新型材料、智能化生产以及绿色环保方面的技术创新。最后指出，未来多晶硅生产将朝着高效、低能耗、低污染的方向发展。

DOI lj1e7nzrgd/8202068

作者李咸江

机构地区内蒙古鑫元硅材料科技有限公司

出处《中国科技信息》 2024年5期

关键词多晶硅生产工艺现状发展趋势气相法绿色环保

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年04月24日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）