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多晶硅晶体生长自动化控制技术研究

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摘要摘要:本研究致力于多晶硅晶体生长自动化控制技术的深入研究。通过综合利用先进的晶体生长设备和先进的控制算法，实现了多晶硅晶体生长过程的高度自动化。研究中采用了先进的传感技术，实时监测晶体生长过程中的关键参数，包括温度、浓度、流速等，以实现精确的控制和调节。同时，采用了先进的数据分析技术，对大量的实验数据进行分析和挖掘，以进一步优化生长过程。本研究的成果将有助于提高多晶硅晶体的质量和生产效率，推动半导体行业的发展。

DOI 3j7m0llq5j/8063653

作者曾亮

机构地区新疆东方希望有色金属有限公司新疆昌吉州准东经济技术开发区

出处《中国科技人才》 2024年1期

关键词晶体生长自动化控制技术多晶硅传感技术数据分析技术

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年03月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）