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红外线与紫外线

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摘要红外发光二极管辐射强度的测量;极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究.

DOI n490w5x94y/666135

作者

机构地区不详

出处《中国照明文摘》 2009年1期

关键词紫外线红外线红外发光二极管等离子体光源远紫外光刻辐射强度

分类 [电气工程][电力电子与电力传动]

出版日期 2009年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国照明文摘

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