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硅片制造业向机电一体化方向的发展研究

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摘要摘要：在目前上述行业的快速进步中，表现出硅片制造产品的技术含量在持续提高的改进趋势，尤其是在目前以数控技术为代表的现代制造系统中，在现代化的计算机技术、微电子技术以及自动控制技术的基础上提升了设备的运行效率、精准度以及自动化程度。并且通过新的技术来对传统硅片制造行业单一化、技术含量低等不足进行了改变，在目前的工业企业中实现了生产方式的集成化、自动化和智能化，在提高产品性价比的同时，实现了经济效益的提升。文章对目前硅片制造业的改进方向进行分析，针对其目前的主要改进方向也就是机电一体化来说，在研究其核心技术和改进重点的同时，重点对机电一体化的将来改进方向进行分析，以供参考。

DOI rdxrkp8ydl/6269173

作者曹绍文

机构地区 130528198208054817

出处《中国科技信息》 2022年8期

关键词硅片制造业机电一体化发展

分类 [][]

出版日期 2022年07月29日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）