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一种八工位阴极老练测试系统设计

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摘要摘要：阴极作为放射电子的部件，在电真空器件制作工艺中，阴极的老练工艺是极为重要的部分。在传统的老练、测试工艺中，需要测试人员实时监控阴极的工作状况，经常一次老练时间长达好几个小时，大大增加了人力成本。本文设计的八工位阴极老练测试系统可控制多个测试工位，同时完成八组电子枪阴极的自动老炼和测试功能。

DOI ojz3orm0d5/5418170

作者王显静张永喜舒燕

机构地区（北京真空电子技术研究所, 北京100015）

出处《科学与技术》 2021年11期

关键词

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年08月09日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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