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高致密ITO靶材制备工艺的研究现状及发展趋势

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摘要【摘要】本文结合笔者多年的研究与实践，结合国内外ITO靶材主要成形、烧结工艺的研究情况，探讨高致密ITO靶材制备工艺的研究现状和发展趋势，以供参考。

DOI lde83z3ed3/5254189

作者廖政堂

机构地区广西晶联光电材料有限责任公司

出处《科学与技术》 2021年6期

关键词高致密 ITO靶材制备工艺成形工艺研究现状发展趋势

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年06月09日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

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