微悬臂梁的热机械性能分析及选材

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摘要 由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列(FPA)是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术,通过对双金属悬臂梁应力和应变的分析,阐述了影响微悬臂梁热机械性能的主要因素,为正确选择微悬臂梁结构的材质提供理论依据。
机构地区 不详
出版日期 2007年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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