多晶硅还原尾气干法回收工艺能耗利用优化研究

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摘要 摘要:多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是自动控制、信息处理、太阳能光伏系统、人工智能等半导体器件的基础材料。近年来,随着我国信息产业、新能源行业的快速发展,对多晶硅产品的需求越来越大。然而对于多晶硅生产企业,产品生产过程中能耗利用是制约产品成本降低的一大难题,本文主要就多晶硅生产过程中以改良西门子法多晶硅生产工艺为基础,对还原尾气干法回收工艺进行能耗优化和改进,达到节能降耗的目的。
出处 《科学与技术》 2020年21期
出版日期 2020年12月01日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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