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SEM分析技术在纳米材料表征中的应用

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摘要摘要本文介绍了冷场发射扫描电子显微镜（ SEM）以及 X射线能谱分析仪（ EDS）的主要分析原理、分析方法，并简要介绍了 SEM及 EDS在纳米材料表征中的相关应用。

DOI 54y0e1yxd0/4861476

作者张蓉王瑞雨刘香云张立兴

机构地区中国天辰工程有限公司

出处《科学与技术》 2020年17期

关键词 SEM EDS 纳米材料表征

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2020年10月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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