大孔吸附树脂吸附三氯氢硅尾气性能研究

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摘要 摘要本文主要研究大孔吸附树脂吸附三氯氢硅尾气的性能,阐述了三氯氢硅的性质和制作方法,对大孔吸附树脂吸附三氯氢硅尾气的各项性能进行分析,主要包括极性吸附树脂、极性吸附树脂分离柱以及溶剂与大孔吸附树脂结合的吸附性能。
机构地区 江庆云
出处 《基层建设》 2015年19期
出版日期 2015年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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