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《长春光学精密机械学院学报:科技信息版》
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1998年2期
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德开发准分子激光退火技术
德开发准分子激光退火技术
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摘要
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DOI
o0dpxxr9j2/302645
作者
机构地区
不详
出处
《长春光学精密机械学院学报:科技信息版》
1998年2期
关键词
德国
准分子激光退火技术
薄膜晶体管退火
输出功率
脉冲能量
分类
[机械工程][光学工程]
出版日期
1998年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
长春光学精密机械学院学报:科技信息版
1998年2期
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