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气相二氧化硅的制备方法及其特性

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摘要简述了气相二氧化硅的发展情况和制备方法，介绍了气相二氧化硅的特性、标准及其相关表征方法。

DOI 2lde8eg5d3/214865

作者吴利民;段先健;杨本意;王跃林

机构地区不详

出处《有机硅氟资讯》 2004年6期

关键词气相二氧化硅制备方法特性表征方法发展情况标准

分类 [化学工程][有机化工]

出版日期 2004年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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