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双流体喷射洗净技术

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摘要为了进一步防止大气臭氧层破坏及地球温室效应的产生,近年来日本洗净行业开展了多种技术的研究,其中在削减药液使用量、降低环保负荷方面的洗净技术研究中取得了很大突破.

DOI ojnkxlvljr/2115937

作者王青

机构地区不详

出处《洗净技术》 2003年08M期

关键词双流体喷射洗净技术 RCA洗净技术技术原理硅片

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年05月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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