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8”芯片生产厂超纯水系统设计浅析

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摘要本文以8"芯片生产厂超纯水系统为实例，浅析250T/h以上的大规模超纯水系统和管网的设计，并就施工中的质量和安全管理作一些探讨。

DOI 7j67gxxpd0/2042342

作者吴晔榴

机构地区不详

出处《中国半导体》 2003年1期

关键词芯片生产厂超纯水水质流程设计体制工程施工管理

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2003年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国半导体

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芯片生产厂超纯水水质流程设计体制工程施工管理

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