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高分辨率激光绘图机

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摘要 Ucamco公司推出全新光电系统的NanoAF-100激光光绘图机，发出的光斑大小仅1.3μm，分辨率高达101600ppi，绘制线条最小尺寸降低到4μa。该光绘机是使用花岗岩平台以及直线电机和空气轴承的非接触式运动系统，保证稳定性和高精度重复性。光学系统的高速高精度自动对焦功能，在大幅面1200mm×1600mm的膜的功能精度保证1gm范围内。速度极快，一张460mm×610mm膜面图形完成不超过15分钟。

DOI rdx0nrp1dl/1641873

作者

机构地区不详

出处《印制电路信息》 2016年7期

关键词激光绘图机高分辨率自动对焦功能高速高精度光电系统最小尺寸

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2016年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）