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罕王斥资30亿在辽宁抚顺兴建MEMS晶圆厂

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摘要 <正>沈阳罕王集团是中国东北的大型民营铁矿生产集团,该公司已开始为微机电系统(MEMS)兴建一家大型晶圆厂。晶圆厂2012年3月动工兴建,位于沈阳以东40英里左右的抚顺。罕王计划投资30亿元人民币(约4.75亿美元),分三个阶段进行开发。罕王表示,尽管初期准备安装200毫米晶圆生产设备,但厂房是为满足"300毫米晶

DOI 6jr28y7x45/1564063

作者吴琪乐

机构地区不详

出处《半导体信息》 2012年3期

关键词晶圆厂 MEMS 晶圆生产微机电系统辽宁抚顺后端处理

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2012年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）