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ITO导电薄膜的用途和制备方法

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摘要本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶胶—凝胶法4种制膜工艺。

DOI k5jop83ndv/156112

作者张树高;黄伯云;方勋华

机构地区不详

出处《粉末冶金材料科学与工程》 1997年1期

关键词 ITO薄膜应用制备工艺

分类 [冶金工程][粉末冶金]

出版日期 1997年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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粉末冶金材料科学与工程

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