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2015年7期
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曝光机里的光路计算和绝对平行光的设计
曝光机里的光路计算和绝对平行光的设计
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摘要
文章分两部分,第一部分是在牛顿光学的基础上导出了曝光光路的平行度、曝光能量的计算公式,这些公式完全是在牛顿几何光学的框架下推导出来,没有任何假定的成分,完全适用于曝光光路的计算。第二部分则是绝对平行光的光路的设计,它一改传统PCB曝光光路设计理念,巧妙地用点光源-平面-蝶面光路图,这样不仅得到了绝对平行光,而且是比传统设计方案强得多的光。
DOI
pj09p0ovjy/1527399
作者
程静
机构地区
不详
出处
《印制电路信息》
2015年7期
关键词
平行度
曝光能量
蝶面
蝴蝶积分
分类
[电子电信][微电子学与固体电子学]
出版日期
2015年07月17日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
印制电路信息
2015年7期
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