首页 > 《电子与封装》 > 2014年1期 > 铁氧体隔离器薄膜电路制备工艺研究

铁氧体隔离器薄膜电路制备工艺研究

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要文中采用磁控溅射方式在铁氧体基片上制备了微带隔离器的多层膜结构。通过带金属掩模版溅射电阻层,避免了对薄膜电阻的光刻和刻蚀;通过使用铜靶和湿法刻蚀,克服了对溅射用金靶、反应离子刻蚀等工艺技术和设备的依赖。该新型工艺方法简化了镍铬薄膜电阻的制作,降低了薄膜电路的制造成本,可应用于集成电阻的薄膜电路基板的研制。

DOI 6jr2xroy45/1430115

作者魏晓旻;柳龙华

机构地区不详

出处《电子与封装》 2014年1期

关键词铁氧体微带隔离器薄膜电路磁控溅射

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2014年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1夏红香,朱丽霞. 浅谈无菌检查用隔离器.建筑技术科学,2022-03.
2严安全. 高功率光纤隔离器隔离度与隔离功率影响因素研究.,2023-01.
3严安全. 高功率光纤隔离器隔离度与隔离功率影响因素研究.,2023-02.
4程俊杰,彭承敏. 射频隔离器寿命考核方法分析.建筑技术科学,2023-11.
5张安岭,翟松光,张治伟,田坤云,李圣中. 便携组合式封闭隔离器.建筑技术科学,2023-11.
6陆众. 高隔离度的自由空间型光隔离器研究.,2022-12.
7陆众. 高隔离度的自由空间型光隔离器研究.,2022-11.
8张来保;崔佃民;王秋生. 管线油气隔离器及其使用方法.交通运输规划与管理,2005-04.
9吴颖霞. 采油工程举升工艺中隔离器的选择与设计研究.建筑技术科学,2023-10.
10DENG Zhong-chao;YAO Xiong-liang;ZHANG Da-gang;邓忠超;姚熊亮;张大刚. 基于MR阻尼器的船用隔离器系统试验研究.船舶与海洋工程,2009-04.

来源期刊

电子与封装

2014年1期

铁氧体隔离器薄膜电路制备工艺研究

来源期刊

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

铁氧体隔离器薄膜电路制备工艺研究

来源期刊

相关推荐

同分类资源 更多

相关关键词

同分类资源更多