光学薄膜参数测试

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 O484.5//TN304.0552002042890常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较=Comparisonofdielectricpropertiesbetweenconventionalandnanocrystallinediamondfilms[刊,中]/奚正蕾,莘海维,张志明,凌行,沈荷生,戴永兵,万永中,陆鸣(上海交通大学微电子技术研究所.上海(200030))∥微细加工技术.—2001,(4).—50-55
作者
机构地区 不详
出处 《中国光学》 2002年4期
出版日期 2002年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献