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钝化离子注入半导体探测器研究
钝化离子注入半导体探测器研究
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摘要
介绍了钝化离子注入半导体探测器的工作原理和制备工艺,两种探测器制备的灵敏面积分别为10mm^2和25mm^2,辐射性能测试实验结果表明该探测器具有响应线性度好、噪声低、偏压低等优点,反向偏压为3V时,剂量率监测范围为:1×10^-3~1×10^3cGy/h.
DOI
3j79v2g541/2238853
作者
周春芝;刘虹宇;罗平安
机构地区
不详
出处
《防化研究》
2004年2期
关键词
钝化离子注入半导体探测器
工作原理
制备工艺
辐射场监测
分类
[兵器科学与技术][武器系统与运用工程]
出版日期
2004年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
防化研究
2004年2期
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