钝化离子注入半导体探测器研究

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摘要 介绍了钝化离子注入半导体探测器的工作原理和制备工艺,两种探测器制备的灵敏面积分别为10mm^2和25mm^2,辐射性能测试实验结果表明该探测器具有响应线性度好、噪声低、偏压低等优点,反向偏压为3V时,剂量率监测范围为:1×10^-3~1×10^3cGy/h.
机构地区 不详
出处 《防化研究》 2004年2期
出版日期 2004年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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