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生产半导体元件用专用级高纯磷酸的制备

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摘要制备分析样品的方法：将欲被分析的杂质从磷酸中单独沉积下来并与磷酸分离；分析杂质的方法：将杂质从磷酸中单独沉积下来并与磷酸分离；再对分离的物质进行分析；制备高纯磷酸的方法：从待净化的磷酸中单独沉积出杂质并进行分离；制备半导体元件的方法：用磷酸作处理液，该磷酸的杂质含量(由所含的放射性元素Pb，Bi和Po的浓度确定)，不大于10^-3Bq/ml(Bq，贝克勒尔，放射性单位)。

DOI rj8k0397j0/2233410

作者彭力国

机构地区不详

出处《磷酸盐工业》 2004年2期

关键词半导体磷酸制备方法定量分析法 PH值

分类 [化学工程][无机化工]

出版日期 2004年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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磷酸盐工业

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