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某超大规模集成电路厂房纯气体管道工程

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摘要简述某工程高纯气体管道系统设计中气体管道材料的选用及设计对管道的施工安装，试压及验收的要求。

DOI odwz3rzvdk/2221780

作者陈平;周志刚

机构地区不详

出处《空调暖通技术》 2004年1期

关键词超大规模集成电路气体管道工程安装过滤器洁净厂房

分类 [建筑科学][供热、供燃气、通风及空调工程]

出版日期 2004年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

空调暖通技术

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