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《通用机械》
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2004年2期
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Integrity 电子束蒸发系统
Integrity 电子束蒸发系统
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摘要
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DOI
54knk16e4k/2213109
作者
机构地区
不详
出处
《通用机械》
2004年2期
关键词
电子束蒸发系统
精密光学镀膜系统
蒸发源
光学监控
分类
[机械工程][机械设计及理论]
出版日期
2004年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
通用机械
2004年2期
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